技术编号:11366580
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶炉技术领域,特别地,涉及一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架。背景技术单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在直拉法制备单晶硅工艺中,为了增大投料量,目前导流筒大都采用上挂式的,闭合单晶炉前需要悬挂导流筒。在实际操作中,两人需半蹲炉体两侧,双手伸入炉盖与炉筒间隙平举导流筒挂上挂钩,并保持数十秒,其它人员做升晶操作提起导流筒直至挂钩牢固。期间平举导流筒十分吃力,使用其它支撑物会将杂质带入炉内,并有遗忘支撑物的风险,操...
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