技术编号:11371828
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示技术领域,特别涉及一种坩埚及蒸镀设备。背景技术OLED(OrganicLight-EmittingDiode,有机电致)发光器件以其自发光、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于柔性面板等特性,被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。OLDE器件目前多采用蒸镀法进行制备,蒸镀设备包括用于加热有机蒸镀材料的坩埚,蒸镀材料经坩埚加热后升华为蒸汽,蒸汽由坩埚内逸出后在基板上凝结,形成所需的膜层。常见的坩埚包括坩埚本体和与坩埚本体可拆卸连接的顶盖,现有技术中,顶盖和坩埚本体之间采...
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