调节工具、气浮平台和气浮平台的调节方法与流程技术资料下载

技术编号:11375980

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本发明涉及玻璃基板领域,具体地涉及一种调节工具、气浮平台和气浮平台的调节方法。背景技术玻璃基板是平板显示产业中的关键基础材料之一,比如玻璃基板是构成液晶显示器的基本部件。由于玻璃基板的表面比较脆弱且对品质有着较高的要求,为了防止玻璃基板的表面受到划伤或者腐蚀,通常需要用不易对玻璃基板的品质造成损坏的气浮平台来对玻璃基板进行传送,即利用气浮平台的气浮条产生向上的气流,利用气流托举玻璃基板从而保持玻璃基板能够悬浮在气浮平台上。由于玻璃基板与气浮条之间的间距很小,通常为0.5mm,气浮条需要保持在同一...
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