技术编号：11378036
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池的镀膜设备，具体是指一种能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉。背景技术在光伏太阳能行业，太阳能电池的制造要经过制绒，扩散，刻蚀，镀膜，丝网印刷和烧结六大工序。其中，镀膜工序的目的是采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)的方法在硅片正面镀氮化硅膜，减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用。目前，光伏行业大多采用管式PECVD对硅片镀膜，镀膜管为圆柱体，镀膜管的顶部设置有多个工艺气体的喷气口，用于给硅片镀膜，石墨舟为长方体，位于喷气口的下方，用于承载硅片。在镀膜过程中，石...
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