技术编号:11383895
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法,具体涉及半导体搬运设备技术领域。背景技术硅片被广泛应用于半导体元器件中,其精细程度代表了半导体的制造工艺水平,硅片在生产制造过程中对环境、加工及承载装置有严格的要求,硅片一般都是存放在硅片盒中,机械手会从硅片盒中抓取和搬运硅片进行工艺处理。硅片盒一般是立式放置,前面开口用于机械手抓取和存放硅片,硅片盒中分布有一层层的插槽,每个插槽放置一张硅片,盒中通常有25个插槽用来存放硅片。硅片在硅片盒中的分布是随机的,通常不是按照盒中小槽的顺序来依次放置硅片,...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。