技术编号：11385049
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是与一种烘烤台有关，特别是指一种气浮式烘烤台。背景技术通常，现今的半导体产业于现今社会已成为不可或缺的一环，且半导体产业的发展更代表科技的进步性，所应用的范围已跨越各种专业领域。由于半导体产业对于科技的进步与带动相关电子产业的重要性，其制造及封装流程也更需随之进步。因应社会的需求，在电子物件(例如，LCD基板、玻璃基板、彩色滤光片、晶圆、PCB内层板等)制程中，业者及使用者更是注意其是否符合经济效益。又，在现今的半导体制程中，电子物件亦会利用一烘烤台将经过化学处理过的电子物件进行烘干，...
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