技术编号：11385593
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域，更具体地，涉及一种LED芯片光刻显影方法。背景技术发光二极管(LightEmittingDiode，LED)是一种能将电能转化为光能的半导体电子元件，被广泛应用于显示器、照明、警示灯和彩光装饰等领域。光刻显影是LED制造中重要的工艺步骤之一，该工艺通过一系列工序步骤，将LED芯片表面薄膜的特定部分除去，然后在LED芯片表面形成带有特征图形结构的薄膜。在光刻显影工艺步骤中要用到光刻胶的显影液，显影液一般为碱性水溶液。最普通的正胶显影液是四甲基氢氧化铵(Tetramethy...
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