技术编号:11390618
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于应变传感器技术领域,具体涉及一种用于无线应变测量的标签式无线传感器。背景技术随着半导体工艺及电子技术的发展,利用真空蒸发、溅射、化学气相淀积等工艺技术使材料薄膜化的技术,在电子器件方面有了迅速的发展。各种与体型材料不同性能的薄膜传感元件也应运而生,薄膜电阻应变计是众多薄膜传感元件中的一种应变电阻敏感元件。由于薄膜电阻应变计的基底及组成材料的无机质化,其厚度尺寸很薄,能够达到几个微米,是传统箔式应变片的1/10。薄膜化、无机质化了的应变片具有尺寸小、可靠性高、耐热性好等特性。各种金属...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。