一种标签式无线传感器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11390618

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本实用新型属于应变传感器技术领域,具体涉及一种用于无线应变测量的标签式无线传感器。背景技术随着半导体工艺及电子技术的发展,利用真空蒸发、溅射、化学气相淀积等工艺技术使材料薄膜化的技术,在电子器件方面有了迅速的发展。各种与体型材料不同性能的薄膜传感元件也应运而生,薄膜电阻应变计是众多薄膜传感元件中的一种应变电阻敏感元件。由于薄膜电阻应变计的基底及组成材料的无机质化,其厚度尺寸很薄,能够达到几个微米,是传统箔式应变片的1/10。薄膜化、无机质化了的应变片具有尺寸小、可靠性高、耐热性好等特性。各种金属...
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