技术编号:11401186
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用化学气相沉积法生产CVDZnS块体材料的设备,尤其是涉及一种双面均匀沉积CVDZnS块体材料的设备。背景技术硫化锌(ZnS)多晶块体材料是一种用途广泛的宽带隙Ⅱ一VI族半导体光学材料,在8-12μm波段透过率高,热等静压处理后可同时覆盖可见、中远红外波段,具有良好的多光谱特性和图像传输性能。该材料生产成本低,硬度高,抗恶劣环境能力强,具有优异的机械性能和光学性能,可以用来制作高速飞行器红外窗口、红外成像系统和多光谱精确制导系统的整流罩等。目前,常用化学气相沉积法(CVD)制备硫...
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