技术编号:11404628
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测量方法和测量程序,更详细地说,涉及对包含最佳测量条件的不同区域的目标物体的表面能够以短时间且高精度地测量形状的测量方法和测量程序。背景技术作为测量目标物体的表面高度、表面粗糙度、三维形状等的测量方法之一,已知利用由光的干涉产生的干涉条纹的亮度信息的光干涉法。在光干涉法中,参照光路的光路长度和测量光路的光路长度一致的焦点位置中各波长的干涉条纹的峰值被重叠合成,利用干涉条纹的亮度变大。因此,在光干涉法中,一面使参照光路或测量光路的光路长度变化,一面由CCD摄像机等的摄像元件拍摄表示干涉光...
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