可保留径向高阶模式的封装型光微流微腔生化传感器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11404775

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本发明属传感器技术领域,具体涉及一种可保留径向高阶模式的封装型光微流微腔生物化学传感器。背景技术近些年,光学微腔传感器因其超高灵敏度和超低探测极限在生物化学传感领域应用广泛。光学微腔是指尺寸与谐振光波长相比拟的光学谐振腔,它将光场局域在腔里,令光子在腔内多次震荡,增加了光与物质相互作用的次数。它通过探测腔内光学模式的变化来感知分析物的存在,因此可以用于探测生物分子或者化学物质的浓度。回音壁模式微腔的优点是Q值高,光子寿命长,光子与分析物的相互作用强,从而在生物化学传感中可以获得更高的探测灵敏度;...
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