技术编号:11404906
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电装置及其制造方法,尤其涉及一种微传感器及其制造方法。背景技术微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)技术是一种以微小化机电整合结构为出发点的设计。目前常见的微机电技术主要应用于微传感器、微制动器(Microactuator)与微结构(Microstructure)组件等三大领域,其中微传感器可将外界环境变化(如声音、压力、速度等)转换成电信号(例如电压或电流等),而实现环境感测功能,如声音感测、压力感测、加速度感测等。由于微传感器可...
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