技术编号:11404911
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电传感器以及感测装置,尤其涉及一种微机电力量传感器以及力量感测装置。背景技术微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)技术是一种以微小化机电整合结构为出发点的设计。目前常见的微机电技术主要应用于微传感器(Microsensor)、微制动器(Microactuator)与微结构(Microstructure)组件等三大领域,其中微传感器可将外界环境变化(如力量、压力、声音、速度等)转换成电信号(例如电压或电流等),而实现环境感测功能,如力...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。