技术编号:11405271
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种扫描电镜EBSD样品台,属于多功能扫描电镜测量领域。背景技术近年来,装配在扫描电子显微镜(SEM)上的电子背散射衍射花样(ElectronBack-scatteringPatterns,简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大发展,该技术也被称为电子背散射衍射(ElectronBackscatterDiffraction,简称EBSD)或取向成像显微技术(OrientationImagingMicroscopy,简称OIM)等等,成为研究材料形变、回复和再结晶过...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。