技术编号:11406935
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多工位扫描电镜EBSD样品台。背景技术扫描电子显微镜简称扫描电镜,是一种利用电子束轰击样品,收集样品表面信号从而成像的电子光学仪器。由于其具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大等特点,现已经被广泛地应用于材料、化学、生物、微电子等多领域的研究和工业生产。近年来,装配在扫描电子显微镜(SEM)上的电子背散射衍射花样(ElectronBack-scatteringPatterns,简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大发展,该技术也被称为电子背散射...
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