技术编号：11411899
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。吸气剂泵本发明涉及包括多个吸气剂筒的改进的吸气剂泵。单独使用或者结合其它类型的泵使用的吸气剂泵得到广泛的使用和认可，并且被描述于多种不同的文献中，如申请人名下的国际专利申请WO9858173、WO2010/105944和WO2009/118398。尽管吸气剂泵与其它类型的真空泵的组合在某些应用(比如表面科学系统、以及在真空下运行的分析器)中能够提供显著的优点，但在存在不允许这种组合使用的限制因素的情况下、特别地在如H2、CO、CO2的活性气体为主要气体源并且稀有气体的泵送不是问题的情况下，优选使...
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