技术编号:11412679
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用检查或测量对象图案的边缘的位置对于图案进行检查或测量的图案的检查、测量装置,以及通过该图案的检查、测量装置的计算机执行的计算机程序。背景技术在半导体制造领域,很早就利用使用了扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,SEM)的检查装置或测量装置。伴随着流程规则的进化,更加精细的图案被转录在晶圆上,这使得晶圆上所形成的图案的密度增加,从而增加了通过尺寸测量进行评价所需要的点。因此,从抑制评价时间这一观点出发,通过伴随着对于成为评价对象的图案的尺寸在相对较大...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。