一种分子牵引型真空动密封结构和超高速真空旋转设备的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11413574

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本发明涉及一种分子牵引型真空动密封结构和超高速真空旋转设备,用于在高速和超高速旋转运行时,在固定设备与运动的旋转系统之间保持一定的真空度,实现高速和超高速旋转设备系统高真空动密封;本发明还涉及使用该真空动密封结构的超高速真空旋转设备。背景技术随着科技的发展,工业、医学、科研等领域很多大型的装置均涉及到高速和超高速旋转下将运动传递至真空室内的问题,即需要真空动密封完成真空室与外部环境之间的密封,防止气体泄露入真空室内,例如真空阀门的开启与关闭,真空冶金设备的送料、拉锭、浇注,真空镀膜机工件架的旋转...
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