技术编号:11427588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅生产技术领域,具体而言,涉及一种观察视镜及多晶硅还原炉。背景技术硅作为世界上第二丰富的元素,具有一些良好的物理化学性能,随着硅纯度的不断提高,其已成为电子工业和太阳能光伏产业中应用最广泛的一种半导体材料。目前国际上多晶硅的生产方法主要包括改良西门子法、硅烷法、流化床法、冶金法及锌还原法等,其中80%以上采用改良西门子法,该方法将工业硅合成SiHCl3,经过精馏提纯生成高纯SiHCl3,一定比例的H2和高纯SiHCl3气体在特定压力下通过多晶硅还原炉内,在硅芯上进行气相沉积反应生成...
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