技术编号:11434512
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电气元件领域,具体而言,涉及一种磁感应器件及制造方法。背景技术随着刻蚀、电镀、表面平坦化技术的发展,嵌入式金属线技术由于具有厚度大、电阻小的技术优势,得到了较好的应用。嵌入式金属线技术指的是在衬底的表面开设凹槽,将金属材料填充至凹槽,而非将金属材料设置于衬底的表面的技术。在现有技术中,形成嵌入式金属线后,衬底需要进行平坦化,从而在平坦化处理后的衬底表面继续形成表面的介质层以及金属层。为了减小嵌入式金属线与表面的金属层之间的寄生电容,通常使用低介电常数材料,将介质层的相对介电常数降低。但...
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