技术编号:11438853
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及蓝宝石制造领域,特别是涉及蓝宝石基板研磨装置。背景技术蓝宝石的组成为氧化铝是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合,晶体结构为六方晶格结构,其具有很好的热稳定性和介电特性,且其化学惰性强、光透性能好,具有很好的耐磨性,它是一种集优良光学性能、物理性能、机械性能和化学性能于一体的多功能氧化物晶体。为适应光电技术的发展,对蓝宝石材料的表面提出了超光滑、无损伤的要求,这样便需要对蓝宝石的表面进行研磨、抛光。一般地,进行对蓝宝石的表面研磨、抛光的工艺中,主要包括粗研磨、精细研磨、抛光等步...
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