筒型图案膜的制作方法、图案辊的制作方法以及剥离装置与流程技术资料下载

技术编号:11442203

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本发明涉及表面具有微小的凹凸图案的筒型图案膜的制作方法以及具备筒型图案膜的图案辊的制作方法。另外,本发明涉及用于将筒状膜从辊状支承体剥离的剥离装置。背景技术近几年,提出了应用卷对卷等卷筒料控制技术的纳米压印。就这样的纳米压印而言,例如,在放出成为加工对象的片(例如树脂制膜、无机基板等)的放出装置与卷收该片的卷取装置之间的输送路上,具备表面具有微小的凹凸图案的图案辊(也称为辊模具、模制辊或者压模辊),一边使图案辊与片的加工面接触一边将片从放出装置向卷取装置输送。由此,能够连续且高效地对树脂制膜实施...
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