技术编号:11448666
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学测量方法和系统。具体地说,本发明涉及用于光学测量的包括法布里-珀罗干涉仪的光谱仪。本发明还涉及用于分析对象的光谱的方法。背景技术光学测量系统被用于例如分析目标的性质或材料成分。例如气体或气体混合物的对象的光谱可以通过使用包括法布里-珀罗干涉仪的光谱仪进行测量。法布里-珀罗干涉仪基于两个反射镜,即输入反射镜和布置为经由间隙面对输入反射镜的输出反射镜。在本文中,“反射镜”是指存在对光进行反射的层或一组层的结构。通带波长可以通过调整两个反射镜之间的距离(即间隙的宽度)进行控制。由于环境的...
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