技术编号：11449686
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。设备相关申请的交叉引用本申请主张2014年11月17日提交的美国申请62/080,561，2015年1月27日提交的美国申请62/108,348，2015年2月2日提交的美国申请62/110,841，2015年2月27日提交的美国申请62/126,173，2015年4月17日提交的美国申请62/149,176，和2015年6月23日提交的美国申请62/183,342的优先权，并且它们通过援引而全文合并到本发明中。技术领域本发明涉及设备。所述设备可结合用于光刻设备的表膜而使用。背景技术光刻设备是被...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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