技术编号：11449717
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。使用图案形成装置形貌引入的相位的方法和设备相关申请的交叉引用本申请主张于2014年12月17日提交的美国申请62/093,363的优先权，其通过援引而全文合并到本文中。技术领域本发明涉及使用图案形成装置引入的相位的方法和设备，该方法和设备例如用在图案形成装置的图案以及图案形成装置的一个或更多个照明性质的优化中、用在图案形成装置上的一个或更多个结构层的设计中和/或计算光刻术中。背景技术光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上，通常是衬底的目标部分上的机器。例如，可以将光刻设备用在集成电路(IC)的制造...
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