技术编号：11452654
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于衬底容置的具有整体拐角弹簧的水平衬底容器相关申请案的交叉参考本申请案主张于2014年12月8日提出申请的第62/089,103号美国临时专利申请案的权益，所述美国临时专利申请案的揭示内容特此以全文引用的方式并入。背景技术大体来说，衬底容器或载体用于在处理衬底(例如硅晶片或磁盘)之前、期间及之后运输及/或储存成批的所述衬底。可将衬底处理成集成电路且可将磁盘处理成用于计算机的磁性存储磁盘。术语晶片、磁盘及衬底在本文中可互换地使用，且除非另有指示，否则这些术语中的任一者可称为半导体晶片、磁盘、平板...
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