激光处理与电化学元件层沉积的整合的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11453423

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激光处理与电化学元件层沉积的整合相关申请案的交互参照本申请案主张申请于2014年10月31日的美国临时申请案第62/073,818号的权益,此申请案以引用的方式全部并入本文。技术领域本公开内容实施例大体而言关于用于制造电化学元件的工具及方法,且更特定但非排他地,关于激光处理与电化学元件层沉积的整合。背景技术诸如固态薄膜电池(thinfilmbattery;TFB)的电化学元件包含许多层的堆叠,所述层包括集电器层、阴极(正电极)层、固态电解质层及阳极(负电极)层。制造这些元件的挑战在于当考虑在这些...
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