技术编号：11454523
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有增强结构强度的微机电元件本申请为2013年10月14日提交的、申请号为201310478753.9的、发明名称为“具有增强结构强度的微机电元件”的申请的分案申请。技术领域本发明涉及一种具有增强结构强度的微机电元件，特别是其中构成微机电结构的最上金属层具有多个独立金属段、及/或其中构成微机电结构的最下金属层具有连续结构的微机电元件。背景技术参照图1，其中显示一现有技术的微机电元件10的示意图，其可作为一定子(Stator)或一动子(Rotor)。微机电元件10包含微机电结构101和电讯号传递线...
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