扫描反射镜的大传动比高精度扫描运动装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11457944

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本发明属于精密仪器技术领域,具体涉及一种实现近红外光栅光谱仪中扫描反射镜进行低速小角度高精度扫描运动的装置。背景技术在近红外光栅光谱仪中,需要通过反射镜的扫描运动来采集获取视场内一定范围的图像数据。通常的红外光谱仪反射镜的扫描运动中,一般采用直流微电机驱动齿轮或者蜗轮蜗杆的方式来进行减速传动,某些情况下也可以使用力矩电机通过键连接进行传动。齿轮传动的传动比一般在2—6范围内,减速比有限不能起到很好的减速效果,而且在扫描过程中不可避免的产生回程误差,影响了扫描精度;蜗轮蜗杆的传动比可达10—200...
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