光罩、对应的间隔物结构及应用其的液晶面板的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11458037

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本发明是有关于一种光罩、对应的间隔物结构及应用其的面板,且特别是有关于一种用以形成间隔物的光罩、对应的间隔物结构及应用其的液晶面板。背景技术传统的间隔物的制作方法,是以灰阶光罩(graytonemask)或以半色调网点光罩(halftonemask)的开口率来定义曝光能量。灰阶光罩利用光通过开口(或狭缝)时产生绕射现象,来降低有效曝光能量,且不同尺寸及数量的开口(或狭缝)对应的曝光能量也不同,藉此来制造不同高度的间隔物,简称为多尺寸间隔物(multiphotospacer,MPS)。此外,半色调...
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