完美吸收体的制造方法与流程技术资料下载

技术编号:11458429

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本发明属于电磁波吸收结构技术领域,特别涉及一种完美吸收体的制造方法。背景技术基于人工合成材料的一种电磁波吸收结构,它的电磁波参数和周围环境的电磁参数可实现阻抗匹配,在特定波段下的吸收率为100%,因此人们称这种电磁波吸收结构为完美吸收体。现有完美吸收体一般采用电子束直写(EBL)生成周期性结构,具体是先生成与吸收体最上层金属阵列互补的周期性阵列,再通过薄膜沉积和剥离(lift-off)形成金属阵列。如,在制造完美吸收体时,需要生成金属圆柱,则对EBL光刻胶进行圆孔曝光和显影生成与金属圆柱同尺寸的...
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