技术编号:11458953
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于基于库的临界尺寸CD计量的精确和快速的神经网络训练本申请是优先权日为2011年3月4日,申请日为2012年2月28日,申请号为“201280010987.4”,而发明名称为“用于基于库的临界尺寸CD计量的精确和快速的神经网络训练”的申请的分案申请。技术领域本发明的实施方式为光学计量领域,更具体地,涉及用于基于库的临界尺寸(CD)计量的精确和快速的神经网络训练。背景技术光学计量技术一般是指如散射测量一样在制造过程中提供表征工件参数的可能性。在实践中,将光直接照射在形成于工件的周期光栅上并且测量...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。