无衬底LED白光芯片及其制作工艺的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11459595

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本发明涉及LED芯片领域,尤指一种无衬底LED白光芯片及其制作工艺。背景技术LED发展趋势是无焊线无封装,所谓无焊线就是采用倒装结构芯片,直接焊接在基板上。倒装芯片的结构是电极和发光层在透明蓝宝石衬底的底部,与正装芯片相反,这样热量可以直接从基板导走,不必通过绝热的蓝宝石衬底,而且电流分布更加均匀,使得芯片可以在更大的电流密度下使用,更免去了焊线的成本和断线的隐患。倒装芯片结构大致如下:包括无色透明蓝宝石衬底,厚度约120-250um;生长在蓝宝石衬底上的GaN外延层,这是一个多层结构,芯片的发...
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