技术编号:11459659
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密驱动元件及智能材料技术领域,具体涉及一种周期性正交极化的大应变压电陶瓷致动器及其制备方法。背景技术压电陶瓷致动器由于具有响应速度快、位移精度高、控制方便、体积小等优势,在纳米技术、精密测量、精细加工、微电子、机器人等领域得到了广泛的应用。目前应用的压电致动器主要由锆钛酸铅(PZT)陶瓷制成。PZT陶瓷在工业中已经应用了半个多世纪,它的性能可以通过改变化学组分在很大范围内进行调整。应用于致动器的主要是软性PZT,其压电系数d33很大,矫顽电场较低,但致动器主要应用PZT陶瓷的压电性能...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。