技术编号:11462330
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于多晶硅生产制造技术领域,具体涉及一种多晶硅废气处理与余热利用装置。背景技术随着太阳能光伏产业的迅速发展,多晶硅的需求将持续增长。多晶硅生产中产生的废气大多属于易燃易爆、有毒有害物质,主要来源于精馏工序、还原工序、尾气回收工序(CDI)、氢化工序和合成工序等。目前,多晶硅生产企业基本上都采用碱液淋洗法对多晶硅废气进行处理,具有工艺简单、投资和运行成本较低等优点。但随着近几年多晶硅厂产能和规模的快速扩大,产生的废气量也随之激增,原废气处理工艺呈现出很多问题:1、工艺过于简单,容易造成资...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。