制程机台和具有其的面板搬运装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11468596

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本发明涉及显示面板制造技术领域,尤其涉及一种制造显示面板时用到的制程机台和具有其的面板搬运装置。背景技术在显示面板的生产制造中,玻璃基板往往需要在数个机台间往返传送,以进行所需工艺。为了避免玻璃基板在搬运过程中损坏,一般会利用机械臂将玻璃基板搬运至基板卡匣中,再利用搬运系统将基板卡匣搬运至下一个工艺机台,由机械臂装卸及拿取每一片玻璃基板进行生产。在现有的生产状况中,多台制程机台同时生产,这需要搬运系统繁忙地上下、前后、左右运动以给每一台制程机台运送玻璃基板。然而,搬运系统的这种运动过于复杂,甚至...
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