技术编号:11474495
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显微镜技术领域,尤其是一种新型扫描探针显微镜的检测方法和系统。背景技术自1982年扫描隧道显微镜(STM)出现以后,又陆续发展出了一系列工作原理相似的新型显微技术,主要包括原子力显微镜(AFM)、横向力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)、静电力显微镜(EFM)、近场光学显微镜(SNOM)、压电力显微镜(PFM)、扫描探针声学显微镜(SPAM)等,由于它们都是利用探针对被测样品进行扫描,同时检测扫描过程中探针与样品的相互作用(如样品-探针间的相互作用力等),得到样品相关性质(如形貌、...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。