技术编号:11477770
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于单晶硅棒加工设备领域,具体涉及一种全自动单晶硅棒滚磨加工一体设备。背景技术硅单晶作为一种重要的半导体材料,具有良好的电学性能和热稳定性,自上世纪六十年代被人们所发现和利用后,就迅速替代锗单晶成为半导体的主要材料。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好,特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料,集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。制备性能良好的硅单晶方法中,直拉法生长硅单晶具有设备和工艺相对简单、容易实现自动控制。直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要继续进行一...
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