技术编号:11478648
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于金刚线切割硅棒技术领域,尤其是涉及一种新型金刚线切割硅片用绕线轮。背景技术目前金刚线切割硅片设备,采用将一定张力的钢线缠绕在有间距的聚氨酯绕线轮上形成线网。通过线网往返运行,硅锭下压进入线网,形成钢线切割硅锭,最终完成硅锭到硅片的加工过程。切割过程中,线网进入硅棒形成线弓。此过程中,进入硅棒的线网受张力影响,导致线弓高度不一,尤其是绕线轮中部线弓最大,钢线间切割受力不均,在最终硅片厚度等参数上离散度增大,出现参数超标异常。发明内容有鉴于此,本实用新型旨在提出一种新型金刚线切割硅片用...
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