技术编号：11484866
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微流控技术领域，尤其涉及一种用于控制流体通断的微流控芯片阀门。背景技术微流控芯片在科研、临床及工业生产等领域正在得到越来越广泛的关注和应用，其工业化生产技术也得到了一定的发展。微阀是微流控芯片装置的重要组成部分，主要用来实现流体流量大小的调节、流体管道的通断控制以及流体方向的切换。在各种微流控芯片系统中，微阀都有着广泛的应用，例如微型化学分析系统、生物检测系统等都需要使用微阀。目前，常见的微阀主要包括气动阀、压电阀、相变阀、扭矩阀等，但是这些阀或者加工技术复杂或者可靠性不高，使得仪...
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