技术编号：11486523
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制备领域，更具体地，涉及一种用于光刻机上的真空检测装置。背景技术真空检测装置在光刻机传片、传版以及各移动平台部分具有重要的作用。图1示出现有技术的用于光刻机上的真空检测装置的结构图，其包括真空导管110、模拟真空压力传感器120以及比较模块130，真空导管110一端与光刻机的吸附装置连接，另一端连接至模拟真空压力传感器120，模拟真空压力传感器120再与比较模块130连接，比较模块130与光刻机的信号接收模块140相连接。模拟真空压力传感器120将真空导管110内的真空度转化...
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