技术编号：11487402
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种高功率离子源技术领域，具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件。背景技术离子源是使中性原子或分子电离，产生等离子体，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。离子源通常来说主要由等离子体发生器和电极系统组成。用于受控核聚变装置中的中性束注入器离子源的束能量范围40keV-1MeV，束流强度一般是几十安培量级范围，由此中性束离子源体积大，束流引出面...
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