技术编号：11487416
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光伏组件生产技术领域，涉及一种节能型太阳能硅片清洗装置以及清洗方法。背景技术光伏行业是一个新兴的行业，随着光伏行业的快速发展，太阳能发电对单、多晶硅的要求量增大，同时对单、多晶硅的加工设备要求更高。伴随集成电路制造工艺的不断进步，半导体器件的体积正变得越来越小，这也导致了非常微小的颗粒也变得足以影响半导体器件的制造和性能，所以，硅片清洗工艺也变得越来越重要。太阳能电池硅片在切割后必需经过多级清洗，以去除附着在硅片表面的砂浆、金属杂质和有机物等杂质。目前所用清洗设备为多级槽式清洗机，...
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