技术编号：11496352
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于制备大面积钙钛矿薄膜的脉冲CVD设备。背景技术钙钛矿薄膜太阳能电池作为下一代高效薄膜太阳能电池，具备高效低成本的特点，但是，目前的高效电池都是使用旋涂方式制备的，很难实现大面积均匀，这直接导致了大面积钙钛矿薄膜太阳电池的性能很差，是目前工业化推进的难题。为了解决这一难题，有部分设备使用了蒸镀法，一次性同时蒸发两种反应物种，进而在衬底上反应得到钙钛矿薄膜，但是这种一步蒸发得到的钙钛矿薄膜仍然面临大面积均匀性的问题，而且生产效率受限于原料添加的问题，工业化仍然面临问题。实用新型...
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