技术编号:11508687
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。氟纯化的方法本申请是申请日为2011年8月3日,申请号为201180042028.6,发明名称为“氟纯化的方法”的发明专利申请的分案申请。本发明要求2010年8月5日提交的EP专利申请号10172034.0的权益,为所有目的将该申请的全部内容通过引用结合在此,本发明涉及一种用于制造纯化的元素氟的方法。元素氟(F2)除其他之外还在半导体、微机电器件、太阳能电池、TFT(薄膜晶体管)的制造中用作蚀刻剂或掺杂剂,作为用于清洁其中使用的这些室的试剂;用于制造氟化的有机化合物,例如用于制造氟化的碳酸亚乙酯...
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