技术编号:11508739
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。通过使硅烷在流化床反应器中热分解而制备多晶硅本申请是申请号为201280047656.8、申请日为2012年9月27日、发明名称为“通过使硅烷在流化床反应器中热分解而制备多晶硅”的专利申请的分案申请。相关申请交叉引用本申请要求2011年9月30日提交的美国临时申请No61/541,642的权益,通过引用将其全部内容并入本文中。技术领域本公开内容的领域涉及通过将硅烷热分解而制备多晶硅的方法,特别是涉及硅烷在在反应条件下操作的流化床反应器中热分解的方法,其导致与常规制备方法相比的高生产率。背景技术多...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。