技术编号:11508746
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅溶胶制备领域,特别涉及一种聚合物改性硅溶胶的制备工艺。背景技术硅溶胶,又称硅酸水溶胶或二氧化硅水溶胶,已广泛应用于精密铸造、催化剂载体、涂料、造纸和纺织等行业。由于硅溶胶耐水性好,耐高温性强,又具有透气性、分散性、抗滑性和无污染性等特点,故其在各个领域中的应用都具有特殊的重要地位。目前工业上成熟的制备方法是离子交换法和单质硅溶解法。在半导体材料CMP过程中,需要硅溶胶具有良好的硬度、抛光速率以及稳定性。如CN101754929B公开的改性二氧化硅溶胶,通过向二氧化硅溶胶中加入表面活性...
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