技术编号：11513753
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体分离的方法，尤其涉及一种从空气中分离超纯氮气降低氢气含量的方法及其装置。背景技术随着工业的发展，氮气在化工、电子、冶金、食品、机械等领域获得了广泛的应用。氮气是一种化学性质不活泼的气体，不易与其他物质发生化学反应。因此，氮气在冶金工业、食品冷冻、电子工业、化工工业中广泛的用来作为保护气和密封气。超大规模集成电路的制造技术的进步对保护气体尤其是氮气的纯度提出了更高的要求。其中超纯氮气中的氢气含量根据《GB/T8978-2008纯氮、高纯氮和超纯氮》中对超纯氮的规定，需≤0.1pp...
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