单轴步进对向光学刀口装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11514211

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本发明单轴步进对向光学刀口装置属于光学显微技术与光学精密测量技术领域。背景技术宽场显微镜结构简单,易于实现;且在探测面可直接获得待测样品图像,不需要通过扫描的方式再进行信息的整合,大大简化了后期处理过程并提高成像效率;在采用科勒照明时不仅避免了光源像对样品像的干扰,而且可以很好地保护样品不被灼伤,此外还可由光源处的视场光阑直接控制样品的照明范围。因而,宽场显微镜成为了目前应用最为广泛的显微测量仪器。但是,这种简易的光学系统在分辨率上受到衍射极限的限制,即使更换数值孔径更大的物镜或者采用短波长的光...
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