技术编号：11514830
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有高吸收效率和信噪比的悬置测辐射热膜的检测装置发明领域本发明涉及电磁辐射探测器领域，具体涉及包括用于通常在“热”范围内，换言之，在红外线下检测辐射的微测辐射热计的探测器领域。背景红外辐射(IR)探测器通常是以布置在支撑衬底的表面处的基本微测辐射热计的组件的二维并置(例如，在阵列中)的形式进行制造，每个微量测定器旨在形成图像点。每个微量测定器包括悬置在衬底上方并且通过嵌入在导电柱中的狭长梁(或“臂”)与其电连接的膜。该组件被放置在紧密外壳(例如，在非常低的压力下的包装件)中，以抑制周围气体的热传...
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